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集成電路百級無塵車間設計施工要求

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集成電路百級無塵車間設計施工要求

發布日期:2014-08-07 作者:百級無塵車間 點擊:

  集成電路百級無塵車間是為了滿意半導體制作技能需求的潔凈室,該百級無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振蕩、ESD、AMC操控等都有必定的請求。有關于其他工業潔凈室,集成電路制作百級無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度操控精度高級特色。百級無塵車間

  依據潔凈室車間空氣循環特色能夠將潔凈室分為三種類型:循環空調機合作高效送風口體系、循環風機合作濕式密封體系和FFU循環體系。

  第一種方式在小規模低等級請求的潔凈室車間規劃中被廣泛應用,關于大面積高級級的潔凈車間則存在運轉本錢過高、占用空間過大等缺陷。

  第二種方式的規劃能夠滿意集成電路制作百級無塵車間大面積高級級的請求,但運轉本錢較高,并且潔凈室風速、風量調節艱難,體系升級改造艱難,因而操作靈活性很低。

  第三種的FFU循環體系不只節約運轉空間、潔凈度安全性高、運轉本錢低,并且操作靈活性很高,能夠在不影響出產的情況下隨時進行體系升級和調整,這些都能極好地滿意半導體制作的需求,因而在半導體制作業FFU循環體系逐步變成最主要的凈化規劃方案。

  FFU循環體系的特色是:全部潔凈室由靜壓層、技能層、技能輔佐層和回風通道構成,由FFU供給循環空氣的動力,將新風、循環風混合后經過超高效過濾器送入技能層和技能輔佐層,靜壓層有關于技能層為負壓。此外,還有出產輔佐區為集成電路制作廠務設備區域,包含電力供給、氣體和化學品供給、超純水供給等。

  集成電路制作對百級無塵車間環境的操控有較為嚴厲的請求。不一樣的技能制程對潔凈度的請求也各不相同,例如光刻請求在1級的微環境下,而化學機械研磨則只請求1000級的環境即可。

  別的,集成電路制作潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有有關的規定和請求,尤其是振蕩的操控,在潔凈室的修建結構規劃上就要有所請求。

  好的潔凈車間規劃不只能節約能源、下降運轉本錢、下降人力投入,并且能夠給出產供給安全可靠的確保。在3種潔凈體系中,FFU循環體系運轉本錢最低,潔凈度安全性最高,因而集成電路潔凈廠房多選用FFU循環體系。而潔凈度請求越高,溫濕度操控精度越高則潔凈室出資和運轉本錢越高,因而在大環境潔凈度或溫濕度請求相對較低的情況下,將一些要害的技能設備安置在較高潔凈度或溫濕度操控區域內是集成電路制作潔凈廠房的規劃趨勢。

  集成電路制作是高能耗的產業,而潔凈空調體系的能耗則占其間的30%以上,因而節能安全的潔凈室規劃和各種熱能回收規劃將是將來的發展方向。

  跟著集成電路制作技能的不斷升級,干流大廠現已進入了納米年代,集成電路制作潔凈廠房的規劃締造和節能立異也需求不斷提高,為先進制程商品出產供給保證。


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