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千級無塵車間有哪些等級要求

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千級無塵車間有哪些等級要求

發布日期:2015-05-13 作者:千級無塵車間 點擊:

  現在,千級無塵車間已廣泛應用于各行各業的商品出產或別的請求避免粒子污染、微生物污染的環境操控,因為各行各業的商品特性不一樣、各種商品的出產技術不相同,運用請求不一樣,因而請求操控環境的內容、目標均不會相同。所謂無塵車間的環境操控的內容應當包含:空氣凈化、潔凈修建、與商品直接觸摸的水或氣體或化學品和出產設備、工器具等的污染物操控以及微振蕩、噪聲、靜電的操控、避免等。所以無塵車間的規劃不只請求對室內的空氣進行凈化到達規則的空氣潔凈度等級,還必須避免因無塵車間的締造用資料、裝修方式不當帶來的污染,有的無塵車間還請求供應超純水、超純氣體和高純的化學品等。

  1、半導體集成電路請求的空氣潔凈度等級

  集成電路出產環境請求的空氣潔凈度等級首要取決于集成電路的集成度,不一樣工序的空氣潔凈度等級是根據也許污染的概率和對器件的潛在故障斷定的。

  舉例說明:

  例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間規劃按加工、出產6英寸硅片、1M集成電路,圖形特形尺雨1.0um,操控粒子粒徑0..1um.

  無塵車間空氣潔凈度等級請求:

  光刻、勻膠區                ISO 3級

  離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等操作區       ISO 3級

  離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等修理區       ISO 5級

  例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間規劃按加工、出產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,操控粒子粒徑0.2um.

  無塵車間空氣潔凈度等級請求:

  光刻、勻膠區             ISO 3級

  離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等操作區   ISO 4級

  離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等修理區   ISO 6級

  2、一些電子商品出產環境的空氣潔凈度等級

  隨著信息產業技能的開展,很多電子商品功能、質量的進步和出產過程的微細化,日益請求出產環境具有必定的空氣潔凈度等級和操控無塵車間內技術出產所需的各類高純物質的供應質量,現在國內外還沒有一致電子商品的空氣潔凈度等級或出產環境操控請求的一致規則,各種電子商品的出產廠家根據其出產的商品品種、所采用的出產技術技能、出產技術設備、出產用原輔料以及無塵車間運轉的實踐經驗斷定規劃締造無塵車間的空氣潔凈度等級。

  舉例說明:

  例一、薄膜晶體管五顏六色液晶顯示器出產用無塵車間,TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶、耗電低、顏色傳神、大容量、高分辯示等長處。

  各無塵車間空氣潔凈度等級,操控粒子粒徑為0.3um

  清潔、涂膠、曝光間       ISO 4級

  顯影、刻蝕間          ISO 5級

  成盒間            ISO 5級

  濺射、CVD間          ISO 6級

  例二、某高密度磁帶出產用潔凈廠房、無塵車間操控微粒粒徑0.5um

  各無塵車間的空氣潔凈度等級請求

  涂布頭                       ISO 5級

  備件、切帶、帶基、測驗、涂布間和烘干、固化間    ISO 6級

  拼裝、修理間和有些原料庫     ISO 7級

  砂磨、化驗間和配件間         ISO 8級

  制品庫和有些原料庫           準潔凈間

  3、精密機械、精細化工等商品出產環境的空氣潔凈度等級

  例一、一個陀螺儀出產用無塵車間

  無塵車間空氣潔凈度等級請求

  裝配間          ISO  6級

  軸承加工間         ISO  5級

  例二、一個感光膠片出產用無塵車間

  流延機頭部,涂布機頭部    ISO 5級

  涂布室,流延機室       ISO 6級


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